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基金项目:
国家自然科学基金资助项目（61575138,11674239）； 山西省自然科学基金资助项目（201601D202013）；
分类号:
TM282
DOI:
10.16355/j.cnki.issn1007-9432tyut.2018.04.015
期刊号:
2018,49(04)
收稿日期:
修回日期:
摘要:
针对压电陶瓷的微位移检测,引入了基于多次反射的光路放大装置,有效提高了迈克尔逊干涉测量的分辨率。理论上分析了放大倍数、入射角和动镜定镜夹角的关系,并对光路的光学放大特性进行了仿真验证。同时搭建高精度光干涉位移测量系统,实现了压电陶瓷以22.6nm为步长的驱动与检测。该装置结构简单、易于控制,可应用于光学滤波系统的精确调谐。
关键字:
微位移测量;压电陶瓷致动器;迈克尔逊干涉;光路放大;开环控制;